隼（ＨＡＹＡＢＵＳＡ）
GYR-823A


◇東京都経営革新優秀賞　奨励賞」を受賞しました。

◇中古装置販売中

◇3インチサファイアウェハー販売中

◇New　Machine　MATUHK-541A　受賞しました

◇板橋青年優秀技能者賞

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Φ8″対応ＣＭＰ自動型実験装置
■Dry-In/Wet-Out 200mmヘッド＋スキャンドレス軸構成
■ウェハごとにレシピ設定可能
■ユーザーニーズに合わせたカスタマイズに対応
（研磨材供給系の増減、廃液切換え、小径/異形ウェハ対応等）
装置仕様表
対応Wfサイズ
 φ3″～8″
プラテンサイズ
 φ610mm
LD-UnLD
 C to C
フットプリント
 W2200xD2000xH2200mm
ドレスサイズ
 φ100mmスイープ
or大型ホイール対応

Dry-In　Wet-Out
対応
アプリケーション
 ＣＭＰ／ＣＭＰ部材評価

MAT ARW-681A
MAT ARW-681A

【対応エリア】 * 北海道地方：北海道 * 東北地方：青森県 - 岩手県 - 宮城県 - 秋田県 - 山形県 - 福島県 * 関東地方：茨城県 - 栃木県 - 群馬県 - 埼玉県 - 千葉県 - 東京都 - 神奈川県 * 中部地方：新潟県 - 富山県 - 石川県 - 福井県 - 山梨県 - 長野県 - 岐阜県 - 静岡県 - 愛知県 * 近畿地方：三重県 - 滋賀県 - 京都府 - 大阪府 - 兵庫県 - 奈良県 - 和歌山県 * 中国地方：鳥取県 - 島根県 - 岡山県 - 広島県 - 山口県 * 四国地方：徳島県 - 香川県 - 愛媛県 - 高知県 * 九州地方：福岡県 - 佐賀県 - 長崎県 - 熊本県 - 大分県 - 宮崎県 - 鹿児島県
* 沖縄地方：沖縄県
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