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φ8″対応全自動ＣＭＰ実験装置

■簡易スクラバ洗浄内蔵
■Dry-In/Dry-Out
■200mmヘッド＋スキャン軸構成
■ウェハごとにレシピ設定可能
■ユーザーニーズに合わせたカスタマイズに対応
装置仕様表
対応Wfサイズ
 φ3″～8″
プラテンサイズ
 φ610mm
LD-UnLD
 C to C
フットプリント
 W2500xD1200xH2300mm
ドレスサイズ
 φ100mmスイープ
or大型ホイール対応

Dry-In　Dry-Out
対応
アプリケーション
 ＣＭＰ／ＣＭＰ部材評価

MAT ARW-681AC
MAT ARW-681AC

【対応エリア】 * 北海道地方：北海道 * 東北地方：青森県 - 岩手県 - 宮城県 - 秋田県 - 山形県 - 福島県 * 関東地方：茨城県 - 栃木県 - 群馬県 - 埼玉県 - 千葉県 - 東京都 - 神奈川県 * 中部地方：新潟県 - 富山県 - 石川県 - 福井県 - 山梨県 - 長野県 - 岐阜県 - 静岡県 - 愛知県 * 近畿地方：三重県 - 滋賀県 - 京都府 - 大阪府 - 兵庫県 - 奈良県 - 和歌山県 * 中国地方：鳥取県 - 島根県 - 岡山県 - 広島県 - 山口県 * 四国地方：徳島県 - 香川県 - 愛媛県 - 高知県 * 九州地方：福岡県 - 佐賀県 - 長崎県 - 熊本県 - 大分県 - 宮崎県 - 鹿児島県
* 沖縄地方：沖縄県

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