■最大径Φ300mmWf対応

■縦型ダウンフィードタイプグラインダー

■高剛性を誇り、使いやすいシンプル設計

■Φ300mmSiWf用全自動グラインド＆ポリッシャー

■Dry-In/Dry-Out

■独立機構によるグラインダー・ポリッシャーの
   マニュアル操作を実現

■次世代大型基板対応

■高い静的精度・超精密制御