製品案内　全自動型ウェハポリッシャー　-MAT

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■全自動ウェハポリッシャー（Dry-In/Dry-Out）

■効率的なレイアウトが可能な最小のフットプリント

■スルーザウォール対応

■φ4"　φ5"　φ8"ウェハ対応

■2ヘッド構成により高能率な加工が可能

■ φ8"バルクシリコンウェハの高精度加工と量産性を備えた装置