製品案内　全自動両面スクラブ洗浄装置（洗浄実験装置）　-MAT

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■1ポットタイプの最もベーシックな洗浄実験装置

■φ8"　片面スクラブ洗浄

■マニュアルローディング/アンローディングの洗浄実験装置

■スクラブ＋スピンステージ構成

■多機能ディスプレイにより多彩なレシピ設定が可能

■メガソニック（オプション）追加可能

■全自動Wet-In/Dry-Outの本格両面スクラブ実験装置

■φ12"、φ8"兼用両面スクラブ実験装置