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装置仕様表(211MA) |
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タイプ |
マニュアルインフィード |
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対応Wfサイズ |
チップ~Φ8〝まで対応可能 |
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砥石サイズ |
φ250mm |
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チャックプレートサイズ |
φ210mm |
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チャックプレート数 |
1個 |
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ポリッシュ機構 |
無 |
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フットプリント |
W1100xD1350xH2150mm |
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対応 アプリケーション |
Si/SiC/サファイア |

MAT GYR-211MA/311MA
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装置仕様表(311MA) |
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タイプ |
マニュアルインフィード |
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対応Wfサイズ |
チップ~φ12″ |
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砥石サイズ |
φ300mm |
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チャックプレートサイズ |
φ310mm |
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チャックプレート数 |
1個 |
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ポリッシュ機構 |
無 |
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フットプリント |
W1100xD1350xH2150mm |
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対応 アプリケーション |
Si/SiC/サファイア |