
|
|
|
装置仕様表 |
|
|
タイプ |
全自動バックオフグラインダー |
|
対応Wfサイズ |
チップ~Φ8〝まで対応可能 |
|
砥石軸数 |
2軸 |
|
砥石サイズ |
φ250mm |
|
チャックプレートサイズ (MAX) |
φ210mm |
|
チャックプレート数 |
3チャックテーブル |
|
ポリッシュ機構 |
無 |
|
フットプリント |
W1100xD1350xH2150mm |
|
対応 アプリケーション |
Si/SiC/サファイア 高精度研削加工 |

MAT GYR-823A

配置図