隼（ＨＡＹＡＢＵＳＡ）
GYR-823A


◇東京都経営革新優秀賞　奨励賞」を受賞しました。

◇中古装置販売中

◇3インチサファイアウェハー販売中

◇New　Machine　MATUHK-541A　受賞しました

◇板橋青年優秀技能者賞

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お問い合わせ

CMP実験装置

　
　エム・エー・ティのＣＭＰ実験装置は、マニュアルorオートタイプがございます。
装置は、チップサイズからφ12”サイズまで　幅広くお客様のニーズにお応えできるよう装置ラインナップを取りそろえておりますので、下記仕様をご参照ください。
　また、ラインナップにない装置や異型な基板サイズにも対応致しますので、まずはお気軽に当社までご相談ください。
ARW-681MSⅡ
ARW-8C1MS
ARW-681A

　　　　φ8″対応
　　　CMP実験装置
　　　　φ12″対応
　　　CMP実験装置
　
　　　　φ8″対応
　CMP自動型実験装置
　　
ARW-681MSⅡ
ARW-8C1MS
ARW-681A

ARW-461M
BC-15C


　　　小型ウェハ向け
　　　ＣＭＰ実験装置
　　　チップ基板対応
　　　ＣＭＰ実験装置
　　
ARW-461M
BC-15C


ＣＭＰ ウェハポリッシング装置

　エム・エー・ティのＣＭＰ量産装置は、実験装置と同様にあらゆるサイズのウェハに対応いたします。　　また、お客様のご要求とご予算に合わせて、装置構成からプロセスまでを当社の優秀なエンジニアがサポートしますので、ハイコストパフォーマンスで安定した装置をご提供いたします。
UHK-1
UHK-6883A
UHK-462AC
UHK-541A
　　　SiWf全自動
　ポリッシング装置
ＳｉＷｆ全自動量産装置
　　小型ウェハ用全自動
　　　　ＣＭＰ量産装置
　　　　ＭＥＭＳ向
　　全自動ＣＭＰ装置
UHK-1
UHK-6883A
UHK-462AC
UHK-541A
UHK-8C31M
UHK-963A


　　SiC対応量産型
　マニュアル研磨装置
　　　　300mm全自動
ウエハポリッシャー装置
UHK-8C31M
UHK-963A


【対応エリア】 * 北海道地方：北海道 * 東北地方：青森県 - 岩手県 - 宮城県 - 秋田県 - 山形県 - 福島県 * 関東地方：茨城県 - 栃木県 - 群馬県 - 埼玉県 - 千葉県 - 東京都 - 神奈川県 * 中部地方：新潟県 - 富山県 - 石川県 - 福井県 - 山梨県 - 長野県 - 岐阜県 - 静岡県 - 愛知県 * 近畿地方：三重県 - 滋賀県 - 京都府 - 大阪府 - 兵庫県 - 奈良県 - 和歌山県 * 中国地方：鳥取県 - 島根県 - 岡山県 - 広島県 - 山口県 * 四国地方：徳島県 - 香川県 - 愛媛県 - 高知県 * 九州地方：福岡県 - 佐賀県 - 長崎県 - 熊本県 - 大分県 - 宮崎県 - 鹿児島県
* 沖縄地方：沖縄県
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