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不良解析専用研磨装置
■デバイスウェハーのレイヤーごとの研磨加工
■ズーム顕微鏡搭載で、断線確認
■厚み測定器搭載で、ウェハーの測定
■様々な膜種への研磨プロセスに対応可能
■ズーム顕微鏡搭載で、断線確認
■厚み測定器搭載で、ウェハーの測定
■様々な膜種への研磨プロセスに対応可能
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装置仕様表 |
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定盤 |
φ200mmSUS（交換用ﾌﾟﾚｰﾄ付） |
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研磨軸 |
3Position移動 （研磨・測定・観察ステージ） |
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測定機器 |
厚み測定器 顕微鏡 顕微鏡ﾓﾆﾀｰ |
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基板貼付部 |
表面・端面研磨用ｱﾀｯﾁﾒﾝﾄ |
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フットプリント |
W820xD600xH1620mm （置台W750xD600xH800mm） |
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重量 |
300Kg |
MAT Ｐｏｌｙｓｈ Ａｎａｌｙｚｅｒ
【対応エリア】 * 北海道地方：北海道 * 東北地方：青森県 - 岩手県 - 宮城県 - 秋田県 - 山形県 - 福島県 * 関東地方：茨城県 - 栃木県 - 群馬県 - 埼玉県 - 千葉県 - 東京都 - 神奈川県 * 中部地方：新潟県 - 富山県 - 石川県 - 福井県 - 山梨県 - 長野県 - 岐阜県 - 静岡県 - 愛知県 * 近畿地方：三重県 - 滋賀県 - 京都府 - 大阪府 - 兵庫県 - 奈良県 - 和歌山県 * 中国地方：鳥取県 - 島根県 - 岡山県 - 広島県 - 山口県 * 四国地方：徳島県 - 香川県 - 愛媛県 - 高知県 * 九州地方：福岡県 - 佐賀県 - 長崎県 - 熊本県 - 大分県 - 宮崎県 - 鹿児島県
* 沖縄地方：沖縄県
* 沖縄地方：沖縄県
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