㈱エム・エー・ティ　CMP研磨中古装置　洗浄装置　研削装置　東京都板橋区

: ◇東京都経営革新優秀賞　奨励賞」を受賞しました。

◇中古装置販売中

◇3インチサファイアウェハー販売中

◇New　Machine　MATUHK-541A　受賞しました

◇板橋青年優秀技能者賞

リファブサービス

中古装置

㈱エム・エー・ティでは中古装置を販売いたしております。
大型研削装置純正リファブ装置（メーカー保証つき）発売に続き、
CMP装置・洗浄装置のご紹介です。
　納期・価格・プロセス立上作業も御相談に応じます。

: 中古ＣＭＰ装置

セミオート型CMP装置「MAT-ARW-681A」
φ4"～8"Wf専用の枚葉型
大径・小径のドレスの両方が使用可能、オリジナルCMPヘッドにより高精度な平坦化が可能。
レシピ設定は操作パネル上で自由に変更。
研磨材は、ローラーポンプチューブによる供給方法。
チューブ交換により研磨材（スラリー）の変更が容易。
本装置1台で多くの種類の研磨加工が可能。

: 中古ＣＭＰ実験装置

マニュアル型CMP実験装置「MAT-ARW-681M」
φ4"～8"Wf専用の枚葉型（Wfのロード/アンロードは手動）
ドレスはφ250mmの大径タイプ、オリジナルCMPヘッドにより高精度な平坦化が可能。
レシピ設定は操作パネル上で変更が可能、自由なレシピ設定。
研磨材は、ローラーポンプチューブによる供給方法、チューブ交換により変更が容易、フレキシビリティーを求める実験装置には好都合のCMP装置。

各装置写真をクリックすると詳しい詳細のページへ移動します。

リファブサービス

　
㈱エム・エー・ティではお手持ちの装置を有効活用するための
ソリューションを提供しております。
中古装置をお持ちの方、装置の改造、使用サイズの変更など
弊社の装置にかかわらず御相談に応じます。
お気軽にお問合わせ下さい。

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