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装置仕様表 |
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対応Wfサイズ |
φ4″~6″ |
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搭載ヘッド数 |
1軸 |
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プラテンサイズ |
φ610mm |
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プラテン数 |
1個 |
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フットプリント |
W2500xD1200xH2200mm |
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ドレスサイズ |
φ100mmスイープ or大型ホイール対応 |
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Dry-In Wet-Out |
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対応 アプリケーション |
CMP/MEMS /Si |

MAT UHK-541A