
|
|
|
装置仕様表 |
|
|
対応Wfサイズ |
φ2″~12″ |
|
搭載ヘッド数 |
4軸 |
|
プラテンサイズ |
φ840mm |
|
プラテン数 |
1個 |
|
フットプリント |
W1890xD1440xH2600mm |
|
ドレスサイズ |
φ100mmスイープ or大型ホイール対応 |
|
|
Dry-In Wet-Out |
|
対応 アプリケーション |
SiC |

MAT UHK-8C31M