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装置仕様表 |
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対応Wfサイズ |
φ8″ |
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チャンバー数 |
2個 |
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チャンバー構成 |
両面スクラブ(1)+スピン(1) |
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LD-UnLD |
C to C |
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フットプリント |
W2400xD1200xH2100mm |
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対応 アプリケーション |
CMP/MEMS |

MAT ZAB-8W3AS