取扱製品PRODUCTS
ARW-8C1MS φ300mm対応CMP実験装置
■待望の300mm対応のCMP実験装置
■ヘッド交換によりφ200mm以下のウエハも対応
■ゾーンコントロールのスウィープドレス
■Pad Profile取り付け可
※デモテストが可能です。
商品詳細
| 対応Wfサイズ | φ3″～φ300mm |
|---|---|
| プラテンサイズ | φ810mm |
| LD-UnLD | マニュアル |
| フットプリント | W1800xD1100xH2200mm |
| ドレスサイズ | φ100mmスイープor大型ホイール対応 |
| 対応アプリケーション | CMP／MEMS／CMP部材評価 |
装置仕様表