株式会社エム・エー・ティ

半導体デバイス、脆性材料、非晶質、各種薄膜、
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CMP自動装置・量産装置

  • ハイコストパフォーマンスで安定した装置ラインナップ
  • CMP量産装置もあらゆるサイズのウェハに対応
  • 装置構成からプロセスサポートまで対応
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UHK-8C31M
4軸ヘッド対応マニュアル研磨装置
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UHK-963A
300mmウェハ対応全自動ポリッシュ
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UHK-541A
MEMS向け全自動CMP装置
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ARW-681A
小型ウエハ向けCMP実験装置

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