取扱製品PRODUCTS
CMP自動装置・量産装置
- ハイコストパフォーマンスで安定した装置ラインナップ
- CMP量産装置もあらゆるサイズのウェハに対応
- 装置構成からプロセスサポートまで対応
- UHK-8C31M
- 4軸ヘッド対応マニュアル研磨装置
- UHK-963A
- 300mmウェハ対応全自動ポリッシュ
- UHK-541A
- MEMS向け全自動CMP装置
- ARW-681A
- 小型ウエハ向けＣＭＰ実験装置
半導体デバイス、脆性材料、非晶質、各種薄膜、
金属の研磨や薄片化はケメット・ジャパンMAT事業部にご相談下さい
