株式会社エム・エー・ティ

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CMP実験装置

  • 卓上型から大型装置までのCMPマニュアル装置
  • チップサイズからφ300mmサイズまでの装置ラインナップ
  • 異型な基板サイズにも対応
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BC-15CN
チップ基板対応CMP実験装置
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ARW-461M
小型ウエハ向けCMP実験装置
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ARW-681MSⅡ
φ200mm対応CMP実験装置
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ARW-8C1MS
φ300mm対応CMP実験装置

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