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ARW-681MSⅡ φ200mm対応CMP実験装置
■200ｍｍヘッド＋ドレス軸構成
■クラス最小のフットプリント
■簡易な操作、TFTカラータッチパネル採用
商品詳細
| 対応Wfサイズ | φ3″～φ200mm |
|---|---|
| プラテンサイズ | φ610mm |
| LD-UnLD | マニュアル |
| フットプリント | W1375xD850xH2200mm |
| ドレスサイズ | φ100mmスイープor大型ホイール対応 |
| 対応アプリケーション | CMP／MEMS／CMP部材評価 |
装置仕様表
半導体デバイス、脆性材料、非晶質、各種薄膜、
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