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UHK-541A MEMS向け全自動CMP装置
■φ4″ウェハ全自動CMP装置
■ヘッド交換によりφ6″ウェハも対応可能
■ゾーンコントロールスウィーブドレス対応
■ロード・アンロードﾞカセットステーション搭載
商品詳細
| 対応Wfサイズ | φ4″～6″ |
|---|---|
| 搭載ヘッド | 1軸 |
| プラテンサイズ | φ610mm |
| プラテン数 | 1個 |
| フットプリント | W2500xD1200xH2200mm |
| ドレスサイズ | φ100mmスイープor大型ホイール対応 |
| Dry-In Dry-Out | |
| 対応アプリケーション | CMP／MEMS／Si |
装置仕様表