株式会社エム・エー・ティ

半導体デバイス、脆性材料、非晶質、各種薄膜、
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取扱製品PRODUCTS

UHK-541A MEMS向け全自動CMP装置

■φ4″ウェハ全自動CMP装置
■ヘッド交換によりφ6″ウェハも対応可能
■ゾーンコントロールスウィーブドレス対応
■ロード・アンロード゙カセットステーション搭載

商品詳細

対応Wfサイズ φ4″~6″
搭載ヘッド 1軸
プラテンサイズ φ610mm
プラテン数 1個
フットプリント W2500xD1200xH2200mm
ドレスサイズ φ100mmスイープor大型ホイール対応
Dry-In Dry-Out
対応アプリケーション CMP/MEMS/Si

装置仕様表

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