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- UHK-963A
UHK-963A 300mmウェハ対応全自動ポリッシュ
■省スペース、高速スループット
■オリジナル高機能ヘッド搭載
■高精度で安定したプロセス
■生産性の高い全自動研磨装置
■定盤2式、ヘッド3軸搭載
■φ4、6インチウエハ対応
■φ4インチ 8枚、φ6インチ 4枚同時研磨可能
商品詳細
| 対応Wfサイズ | φ4"～φ6" |
|---|---|
| 搭載ヘッド | 3軸 |
| プラテンサイズ | 980mm |
| プラテン数 | 2個 |
| ドレスサイズ | 大型ブラシ |
| 対応アプリケーション | CMP／MEMS |
装置仕様表