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UHK-8C31M 4軸ヘッド対応マニュアル研磨装置
■4ヘッド+1プラテン校正
■φ4″ウエハ最大16枚同時研磨可能
■チャックはバキューム・エアーフロート対応
商品詳細
| 対応Wfサイズ | φ2″～φ300mm |
|---|---|
| 搭載ヘッド | 4軸 |
| プラテンサイズ | φ840mm |
| プラテン数 | 1個 |
| フットプリント | W1890xD1440xH2600mm |
| ドレスサイズ | φ100mmスイープor大型ホイール対応 |
| 対応アプリケーション | CMP／MEMS |
装置仕様表