株式会社エム・エー・ティ

半導体デバイス、脆性材料、非晶質、各種薄膜、
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取扱製品PRODUCTS

UHK-8C31M 4軸ヘッド対応マニュアル研磨装置

■4ヘッド+1プラテン校正
■φ4″ウエハ最大16枚同時研磨可能
■チャックはバキューム・エアーフロート対応

商品詳細

対応Wfサイズ φ2″~φ300mm
搭載ヘッド 4軸
プラテンサイズ φ840mm
プラテン数 1個
フットプリント W1890xD1440xH2600mm
ドレスサイズ φ100mmスイープor大型ホイール対応
対応アプリケーション CMP/MEMS

装置仕様表

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