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GYR-182AS バックオフ専用φ200mm対応全自動グラインダー
■全自動型超高精度グラインダー
■高能率で高スループットなので量産装置に最適
■Dry-In/Dry-Out
商品詳細
| タイプ | 全自動インフィードシャトルインデキシング |
|---|---|
| 対応Wfサイズ | 4"-φ200mm |
| 砥石サイズ | φ200mm |
| チャックプレートサイズ | 210mm |
| チャックプレート数 | 1個 |
| ポリッシュ機構 | 無 |
| フットプリント | W3000ｘD1800ｘH2500mm |
| 対応アプリケーション | Si |
装置仕様表