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GYR-823A 超高精度低価格グラインダー
■最大径φ200mmウエハ対応
■縦型連続ダウンフィードグラインダー
■高剛性を誇り、使いやすいシンプル設計
商品詳細
| タイプ | 自動バックグラインダー |
|---|---|
| 対応Wfサイズ | チップ～200ｍｍ |
| 砥石サイズ | φ250mm |
| チャックプレートサイズ | φ210mm |
| チャックプレート数 | 1個 |
| ポリッシュ機構 | 無 |
| フットプリント | W1100ｘD1350ｘH2150mm |
| 対応アプリケーション | Si/SiC/サファイア |
装置仕様表
半導体デバイス、脆性材料、非晶質、各種薄膜、
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