株式会社エム・エー・ティ

半導体デバイス、脆性材料、非晶質、各種薄膜、
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取扱製品PRODUCTS

GYR-823A 超高精度低価格グラインダー

■最大径φ200mmウエハ対応
■縦型連続ダウンフィードグラインダー
■高剛性を誇り、使いやすいシンプル設計

商品詳細

タイプ 自動バックグラインダー
対応Wfサイズ チップ~200mm
砥石サイズ φ250mm
チャックプレートサイズ φ210mm
チャックプレート数 1個
ポリッシュ機構
フットプリント W1100xD1350xH2150mm
対応アプリケーション Si/SiC/サファイア

装置仕様表

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