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ZAB-8C5A φ200mm・300mm対応両面全自動洗浄装置
■φ300mm、φ200mm兼用両面スクラブ実験装置
商品詳細
| 対応Wfサイズ | φ200mm～φ300mm |
|---|---|
| チャンバー数 | 3個 |
| チャンバー構成 | 両面スクラブ(2)+スピン(1) |
| LD-UnLD マニュアル | Ｃ to Ｃ |
| フットプリント | W4500xD2000xH2200mm |
| 対応アプリケーション | CMP／MEMS |
装置仕様表
半導体デバイス、脆性材料、非晶質、各種薄膜、
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