株式会社エム・エー・ティ

半導体デバイス、脆性材料、非晶質、各種薄膜、
金属の研磨や薄片化はMATにご相談下さい

取扱製品PRODUCTS

ZAB-8C5A φ200mm・300mm対応両面全自動洗浄装置

■φ300mm、φ200mm兼用両面スクラブ実験装置

商品詳細

対応Wfサイズ φ200mm~φ300mm
チャンバー数 3個
チャンバー構成 両面スクラブ(2)+スピン(1)
LD-UnLD マニュアル C to C
フットプリント W4500xD2000xH2200mm
対応アプリケーション CMP/MEMS

装置仕様表

製品一覧へ戻る