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ZAB-8W3AS φ200mm専用両面全自動洗浄装置
■全自動Wet-In/Dry-Outの本格両面スクラブ実験装置
商品詳細
| 対応Wfサイズ | φ200mm |
|---|---|
| チャンバー数 | 2個 |
| チャンバー構成 | 両面スクラブ(1)+スピン(1) |
| LD-UnLD マニュアル | Ｃ to Ｃ |
| フットプリント | W2400xD1200xH2100mm |
| 対応アプリケーション | CMP／MEMS |
装置仕様表
半導体デバイス、脆性材料、非晶質、各種薄膜、
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