株式会社エム・エー・ティ

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取扱製品PRODUCTS

ZAB-8W3AS φ200mm専用両面全自動洗浄装置

■全自動Wet-In/Dry-Outの本格両面スクラブ実験装置

商品詳細

対応Wfサイズ φ200mm
チャンバー数 2個
チャンバー構成 両面スクラブ(1)+スピン(1)
LD-UnLD マニュアル C to C
フットプリント W2400xD1200xH2100mm
対応アプリケーション CMP/MEMS

装置仕様表

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