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ZAB-8S1M φ200mm対応片面専用洗浄実験装置
■1ポットタイプの最もベーシックな洗浄実験装置
■最大φ200mm片面スクラブ洗浄
■マニュアルローディング/
アンローディングの洗浄実験装置
■スクラブ＋スピンステージ構成
■多機能ディスプレイにより多彩なレシピ設定
■メガソニック装備
※デモテストが可能です。
製品動画
商品詳細
| 対応Wfサイズ | φ3″～φ200mm |
|---|---|
| チャンバー数 | 1個 |
| チャンバー構成 | 片面スクラブ+スピン |
| LD-UnLD マニュアル | マニュアル |
| フットプリント | W1000xD700xH1300mm |
| 対応アプリケーション | CMP／MEMS／CMP部材評価 |
装置仕様表