株式会社エム・エー・ティ

半導体デバイス、脆性材料、非晶質、各種薄膜、
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取扱製品PRODUCTS

ZAB-8S1M φ200mm対応片面専用洗浄実験装置

■1ポットタイプの最もベーシックな洗浄実験装置
■最大φ200mm片面スクラブ洗浄
■マニュアルローディング/
アンローディングの洗浄実験装置
■スクラブ+スピンステージ構成
■多機能ディスプレイにより多彩なレシピ設定
■メガソニック装備
※デモテストが可能です。

製品動画

商品詳細

対応Wfサイズ φ3″~φ200mm
チャンバー数 1個
チャンバー構成 片面スクラブ+スピン
LD-UnLD マニュアル マニュアル
フットプリント W1000xD700xH1300mm
対応アプリケーション CMP/MEMS/CMP部材評価

装置仕様表

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