取扱製品PRODUCTS
MGR-380F フェーシング付ラッピング装置
■独自制御による段差の無い円弧フェーシング
■高真直度フェーシング軸
■バックラッシュの無い独自Z軸送り機構
商品詳細
| 対応Wfサイズ | 最大φ6″x3枚 |
|---|---|
| プラテンサイズ | φ380mm |
| 回転数 | Max200rpm(エアスピンドルタイプ) |
| フェーシング機構 | 有 |
| フットプリント | |
| 対応アプリケーション | SiC/サファイア/アルチックセラミック/GaN |
装置仕様表
半導体デバイス、脆性材料、非晶質、各種薄膜、
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