株式会社エム・エー・ティ

半導体デバイス、脆性材料、非晶質、各種薄膜、
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取扱製品PRODUCTS

MGR-380F フェーシング付ラッピング装置

■独自制御による段差の無い円弧フェーシング
■高真直度フェーシング軸
■バックラッシュの無い独自Z軸送り機構

商品詳細

対応Wfサイズ 最大φ6″x3枚
プラテンサイズ φ380mm
回転数 Max200rpm(エアスピンドルタイプ)
フェーシング機構
フットプリント
対応アプリケーション SiC/サファイア/アルチックセラミック/GaN

装置仕様表

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