取扱製品PRODUCTS
隼「HAYABUSA」 LEDサファイアウエハ裏面研削研磨装置
■サファイア基板は保護テープで保持
■チャック冶具にバキュームでチャック
■チャック冶具ごと搬送
■ポリッシュはチャック冶具ごと３枚バッチ処理
■ＭＡＴ独自のポリッシュ加圧システム
＝高圧加工＝高能率・高精度加工が可能
■装置内部技術特許出願中
商品詳細
| 対応Wfサイズ | φ800mmx3枚 |
|---|---|
| プラテンサイズ | 2400mm |
| 回転数 | 0～10rpm |
| フェーシング機構 | 有 |
| フットプリント | W3500xD3100xH2700mm |
| 対応アプリケーション | 光学ガラス/セラミック |
装置仕様表