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UHK-1250-4N サファイア対応片面ポリッシング装置
■4軸ヘッドによるバッチ処理研磨装置
■高剛性な設計により、サファイア向け高加重プロセスに最適な装置
商品詳細
| 対応Wfサイズ | φ3″4″6″ |
|---|---|
| 搭載ヘッド数 | 4軸 |
| プラテンサイズ | φ1250mm |
| プラテン数 | 1個 |
| フットプリント | W1760xD2110xH2700mm |
| 対応アプリケーション | サファイア/SiC/Si/LT/LN |
表
半導体デバイス、脆性材料、非晶質、各種薄膜、
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