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BC-15CN チップ基板対応CMP実験装置
■最もベーシックな卓上型CMP実験装置
■高い剛性、試料研磨機ベースの卓上研磨機
■コストパフォーマンスにも優位性
■安全カバーは上部に開口
※デモテストが可能です。
製品動画
商品詳細
| 対応Wfサイズ | チップサイズ～φ6″ |
|---|---|
| プラテンサイズ | φ380mm |
| LD-UnLD | マニュアル |
| フットプリント | W850xD600xH800mm |
| ドレスサイズ | φ190mmホイール |
| 対応アプリケーション | CMP／MEMS |
詳細注意書き