取扱製品PRODUCTS
GYR-211・311MA φ200mm・300mm対応超高精度マニュアルグラインダー
■最大径φ300mmウエハ対応
■縦型ダウンフィードタイプグラインダー
■高剛性を誇り、使いやすいシンプル設計
※「GYR－311MA」はデモテストが可能です
商品詳細
| タイプ | マニュアルインフィード |
|---|---|
| 対応Wfサイズ | チップ～φ200mm（チップ～φ300mm） |
| 砥石サイズ | φ250mm（φ300mm） |
| チャックプレートサイズ | φ210mm（φ310mm） |
| チャックプレート数 | 1個 |
| ポリッシュ機構 | 無 |
| フットプリント | W1100ｘD1350ｘH2150mm |
| 対応アプリケーション | Si/SiC/サファイア |
装置仕様表 ( )内は311MA仕様