株式会社エム・エー・ティ

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取扱製品PRODUCTS

GYR-211・311MA φ200mm・300mm対応超高精度マニュアルグラインダー

■最大径φ300mmウエハ対応
■縦型ダウンフィードタイプグラインダー
■高剛性を誇り、使いやすいシンプル設計
※「GYR-311MA」はデモテストが可能です

商品詳細

タイプ マニュアルインフィード
対応Wfサイズ チップ~φ200mm(チップ~φ300mm)
砥石サイズ φ250mm(φ300mm)
チャックプレートサイズ φ210mm(φ310mm)
チャックプレート数 1個
ポリッシュ機構
フットプリント W1100xD1350xH2150mm
対応アプリケーション Si/SiC/サファイア

装置仕様表 ( )内は311MA仕様

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